株式会社マグネスケール レーザースケール BH25-RE(原点付) BH25-NE(原点無)

 



型   式
 
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BH25-012RE*B 価格は都度、お問い合わせください
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BH25-007RE*C 価格は都度、お問い合わせください
BH25-012RE*C 価格は都度、お問い合わせください
BH25-017RE*C 価格は都度、お問い合わせください
BH25-022RE*C 価格は都度、お問い合わせください
BH25-027RE*C 価格は都度、お問い合わせください
BH25-032RE*C 価格は都度、お問い合わせください
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信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール

主なアプリケーション

薄型ステージ・半導体後工程機器・精密顕微鏡に最適。

主な特長

  • 信号波長:250nm
  • 高精度:±1μm/420mm
  • 高速応答:700mm/s
  • 最高分解能:0.0625nm
  • ラインナップ:原点付、原点無し
  • 完全非接触:原理的に戻り誤差がありません。
  • スケール部:青板ガラス・低膨張ガラス
  • 厚み:12mmの薄型ヘッド
  • 各種分解能、出力形式に対応(BD96等インターポレータによる)
  • 真空・非磁性対応(特殊仕様品)



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