株式会社マグネスケール レーザースケール BS78

  E


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  高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。

主なアプリケーション

精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。

主な特長

  • 光波干渉計を超える信号波長0.1379μmの高分解能スケール
  • 湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性
  • 原点精度:±0.1μm
  • 精度:±0.04μm以下(有効長40mm)
  • 完全非接触 原理的に戻り誤差が発生しません
  • 有効長:
    • 40~420mm、9種類(-R/-RS)
    • 有効長10~420mm、10種類(-N/-NS)
  • 真空、非磁性対応(特殊仕様)
  • 低膨長ガラス使用:-0.7×10-6/℃(有効長:10~420mm)



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