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信号波長250ｎｍの高精度反射型レーザスケール
主なアプリケーション
薄型ステージ・半導体後工程機器・精密顕微鏡に最適。
主な特長
- 信号波長:250nm
- 高精度:±１μm/420mm
- 高速応答:700mm/s
- 最高分解能:0.0625nm
- ラインナップ:原点付、原点無し
- 完全非接触:原理的に戻り誤差がありません。
- スケール部:青板ガラス・低膨張ガラス
- 厚み:12mmの薄型ヘッド
- 各種分解能、出力形式に対応(BD96等インターポレータによる)
- 真空・非磁性対応(特殊仕様品)
