BH25-003RE*C 価格は都度、お問い合わせください BH25-007RE*C 価格は都度、お問い合わせください BH25-012RE*C 価格は都度、お問い合わせください BH25-017RE*C 価格は都度、お問い合わせください BH25-022RE*C 価格は都度、お問い合わせください BH25-027RE*C 価格は都度、お問い合わせください BH25-032RE*C 価格は都度、お問い合わせください BH25-037RE*C 価格は都度、お問い合わせください BH25-042RE*C 価格は都度、お問い合わせください
原点を内蔵した、高精度・オープンタイプのレーザスケール
主なアプリケーション
半導体製造装置、検査機器、精密加工機器、精密測定器・試験機などに最適。主な特長
- 高精度原点を内蔵
- 原点精度:±0.1μm
- スケール有効長:160～960mmの9機種ラインアップ
- レーザ光波干渉計並みの高精度、高分解能
- 精度:
- L<460mm:(0.1＋0.4L/100)μm以下(L:有効長[mm])
- L≥460mm:3μm以下
- 分解能:0.07nm
- マグネスケール並みの扱い易さと信頼性(取付・調整)
- 空気の流れ、気圧変化に対して安定
