BS78-40N(NS) 価格は都度、お問い合わせください BS78-120N(NS) 価格は都度、お問い合わせください BS78-170N(NS) 価格は都度、お問い合わせください BS78-220N(NS) 価格は都度、お問い合わせください BS78-370N(NS) 価格は都度、お問い合わせください BS78-420N(NS) 価格は都度、お問い合わせください BS78-70N(NS) 価格は都度、お問い合わせください BS78-270N(NS) 価格は都度、お問い合わせください BS78-320N(NS) 価格は都度、お問い合わせください
高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。
主なアプリケーション
精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。主な特長
- 光波干渉計を超える信号波長0.1379μmの高分解能スケール
- 湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性
- 原点精度:±0.1μm
- 精度:±0.04μm以下(有効長40mm)
- 完全非接触 原理的に戻り誤差が発生しません
- 有効長:
- 40～420mm、9種類(-R／-RS)
- 有効長10～420mm、10種類(-N／-NS)
- 真空、非磁性対応(特殊仕様)
- 低膨長ガラス使用:－0.7×10－6／℃(有効長:10～420mm)
